压电执行器
2023年7月13日
TDK压电叠堆执行器产品组合添新锐
TDK株式会社(东京证券交易所代码:6762)推出两款新的采用符合RoHS要求的锆钛酸铅 (PZT) 材料制成的铜内电极压电执行器——COM30S5和COM45S5。新款元件采用TDK获得专利的基于铜电极的HAS(高有效堆叠)技术,以无外壳封装的被动元件供货,实现了良好的动态范围、高力量/体积比和纳米级精度。比之其他技术,TDK采用HAS技术的压电执行器性能更佳,湿度稳定性更好、使用寿命更长。
两款新元件覆盖电压范围为-10至+180 V,额定位移在+160 V处达到,允许的表面温度范围为-40至+160°C,高度分别为30 mm和45 mm,横截面尺寸为5.2 mm x 5.2 mm,并且在160 V和730 N的预紧力条件下可实现55 µm (COM30S5) 和83 µm (COM45S5) 的位移。
此外,TDK计划于2023年再推出另外三款执行器,以满足更广泛的应用要求。目前,这些执行器仅作为少量原型样品供应,尚未量产,具体包括高度为10 mm、位移量为16 µm的COM10S5;高度为27 mm、位移量为47 µm的COM27S3(带引线型);以及高度为30 mm、横截面为7 mm x 7 mm、位移量为55 µm、推力高达2600 N的COM30S7。
TDK的压电执行器口碑好,应用范围广,适合包括纳米级定位技术、工艺工程中液体和气体的高精度阀门控制,以及半导体制造等高端解决方案在内的诸多应用。
特性和应用
主要应用
- 纳米级定位系统
- 液体和气体的高精度阀门控制
- 焊线机
主要特点和优势
- 铜内电极,具有优异湿度稳定性和高性价比
- 更小的无效区域,更好的性能,更长的使用寿命和更紧凑的设计
- 采用无铅高熔点金属焊接,适合高温操作
关键数据
系列/类型 | 订购代码( Z代表原型) | 尺寸 | 位移量 | 推荐预载力 | 推力(典型值) |
---|---|---|---|---|---|
COM30S5 | B58004M4030A020 | 5.2 x 5.2 x 30 | 55 ±10% | 730 | 1400 |
COM45S5 | B58004M4040A020 | 5.2 x 5.2 x 45 | 83 ±10% | 730 | 1400 |
COM10S5 | Z63000Z2910Z001Z78 | 5.2 x 5.2 x 10 | 16 ±10% | 730 | 1400 |
COM27S3 | Z63000Z2910Z001Z77 (leaded) | 3.4 x 3.4 x 27 | 47 ±10% | 320 | 600 |
COM30S7 | Z63000Z2910Z001Z70 | 7.0 x 7.0 x 30 | 55 ±10% | 1320 | 2600 |
原型样品并非量产品 |